NETC-Gasflaschen aus Aluminiumlegierung: Höchste Reinheit für die Lagerung und den Transport von hochreinem Stickstoff in Elektronikqualität.
In Hightech-Elektronikbranchen wie der Halbleiterfertigung, der Displayproduktion und der Photovoltaik-Zellenherstellung ist hochreiner Stickstoff weit mehr als ein gewöhnliches Gas; er ist das Lebenselixier, das für die Aufrechterhaltung der Produktionsumgebung und die Sicherstellung der Prozessausbeute unerlässlich ist. Er wird nicht nur zum Spülen von Rohrleitungen und Kammern verwendet, sondern spielt auch eine entscheidende Rolle in den Kernfertigungsschritten. Vor der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) ist hochreiner Stickstoff unerlässlich für die Reinigung von Reaktionskammern und die Vermeidung von Kreuzkontaminationen. Nach der Ionenimplantation dient er als Schutzatmosphäre beim Tempern und verhindert die Oxidation der Wafer bei hohen Temperaturen. Während der Lithografie schützt er Präzisionslinsenbaugruppen vor Sauerstoff und Feuchtigkeit. Der Erfolg dieser Anwendungen hängt vollständig von der Gewährleistung einer gleichbleibenden Stickstoffreinheit am Einsatzort ab.
NETCs Gasflaschen aus AluminiumlegierungDiese speziell für hochreine Gase und Gase in Elektronikqualität entwickelten Behälter erfüllen höchste Ansprüche. Ihre überlegenen physikalischen Eigenschaften und fortschrittlichen Oberflächenbehandlungstechnologien bilden zusammen einen robusten Schutz und gewährleisten absolute Kontaminationsfreiheit bei der Lagerung und dem Transport von ultrareinem Stickstoff.
Höchstmögliche interne Reinheit: Sicherstellung der Gasreinheit von der Quelle an
Für die Spülung in Elektronikqualität und die Schutzgasatmosphäre mit Stickstoff ist eine strenge Kontrolle von Partikeln und Feuchtigkeit erforderlich. Die Aluminiumlegierungszylinder von NETC werden mit einem firmeneigenen Verfahren zur Oberflächenbehandlung im Innenbereich hergestellt.:
Extrem niedrige Partikelkonzentrationen: Gewährleistung höchster Reinheit. Die speziell polierte und passivierte Innenfläche zeichnet sich durch eine extrem geringe Rauheit aus, wodurch die Freisetzung und Anhaftung von Partikeln im Inneren deutlich reduziert wird. Dies garantiert, dass der gelieferte Stickstoff strenge Partikelkontrollnormen erfüllt.
Extrem niedriger Restfeuchtegehalt: Die glatte, dichte Innenfläche absorbiert keine Feuchtigkeit. In Kombination mit einem sorgfältigen Trocknungs- und Reinigungsprozess vor der Auslieferung wird so sichergestellt, dass die Zylinder bei der Auslieferung einen sehr niedrigen Taupunkt aufweisen. Dies bietet einen entscheidenden Vorteil für den Erhalt der trockenen Eigenschaften von hochreinem Stickstoff.
Überragende Materialstabilität: Gewährleistung von "Null interaktiver Kontamination
Anders als Standardbehälter sind die Aluminiumlegierungszylinder von NETC im Hinblick auf die Materialverträglichkeit mit hochreinen Gasen konzipiert:
Keine interkristalline Korrosion: Die Aluminiumlegierung schließt das Risiko interkristalliner Korrosion, das bei Stahlzylindern auftreten kann, grundsätzlich aus und verhindert so die Kontamination durch Metallionen aus Korrosionsprodukten. Dies ist entscheidend für den Schutz der Wafer während der Fertigung.
Zuverlässige Druckbeständigkeit und Sicherheit: Hochreiner Stickstoff wird aus Effizienzgründen typischerweise unter hohem Druck (150 bis 200 bar) gelagert. Die Aluminiumlegierungszylinder von NETC werden streng nach internationalen Standards wie DOT 3AL und CE ISO 7866 konstruiert und gefertigt. Sie zeichnen sich durch eine ausgezeichnete Dauerfestigkeit aus und halten wiederholtem Befüllen sowie dem langfristigen Betrieb unter hohem Druck sicher stand.
